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半導體芯片行業用氫氟酸廢水輸送泵 含氟廢水提升泵 無壓燒結碳化硅襯氟F46磁力驅動泵 襯氟離心泵
來源:上海邦泉泵業 發布時間:2024-12-04 點擊:

氫氟酸輸送泵 含氟廢水提升泵

上海邦泉泵業制造有限公司專業的含氟廢水輸送泵廠家。

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半導體行業業務涉及刻蝕、薄膜沉積、CMP、清洗、量檢測等芯片制造關鍵環節的設備及零部件。半導體行業中產生氫氟酸的主要原因是在制造過程中使用氫氟酸進行清洗和蝕刻工藝。在半導體制造過程中,氫氟酸被廣泛用于清洗和蝕刻工藝。具體來說,氫氟酸在濕法蝕刻和薄膜工序中被用來蝕刻晶片。這些工藝過程中使用的含氟化學品會產生含氟廢水,其中主要污染物包括pH值、氟化物和懸浮固體(SS)。

 

此外,氫氟酸在半導體制造中的具體應用還包括:

清洗工藝‌:去除晶片表面的雜質和污染物。

‌蝕刻工藝‌:通過化學反應去除晶片表面的特定區域,形成所需的電路圖案‌。

這些工藝步驟對于制造高質量的半導體器件至關重要,而氫氟酸因其強氧化性和腐蝕性,在這些步驟中發揮了關鍵作用。

 

碳化硅根據成型方式不同,大致可以分為四種:無壓燒結碳化硅,熱壓燒結碳化硅,熱等靜壓燒結碳化硅,反應燒結碳化硅。

 

在介紹氟塑料磁力泵和不銹鋼磁力泵上用的碳化硅之前,我們簡單了解一下4種成型方式的特點和區別。

 

力學性能方面,熱壓燒結和熱等靜壓燒結碳化硅的相對密度、抗張強度都要高一些,反應燒結相對較低。但是碳化硅陶瓷的力學性能還能通過燒結中的添加劑的配比來進行調節。

總體來說,無壓燒結碳化硅陶瓷的綜合性能較好,但是要低于熱壓燒結以及熱等靜壓燒結的碳化硅。簡單分析完4中成型方式的碳化硅,再簡單介紹一下氟塑料磁力泵和不銹鋼磁力泵上用的碳化硅材料。

 

襯F46氟塑料磁力驅動泵或離心泵

目前在氟泵上使用的碳化硅材料主要是反應燒結碳化硅和無壓燒結碳化硅。主要制作成磁力泵中的泵體靜環、轉子軸、葉輪軸套、隔離套軸承等幾大類產品。作用是起到對磨、專遞磁扭矩的作用。

一般來說反應燒結碳化硅的耐腐蝕性還是不錯的,抗張強度方面也是完全夠用的。但是在一些特殊工況介質中,則需要無壓燒結碳化硅的材料,例如輸送燒堿、輸送磷酸、輸送硼酸、輸送氫氟酸等介質。究其原因是因為反應燒結碳化硅中有游離態的硅單質和二氧化硅等雜質,這些雜質不能耐受以上介質的腐蝕,所以這些雜質被腐蝕后,會破壞主體結構,破壞表面光潔度,影響磁力泵的壽命。

 

CQB80-65-160F 11KW襯F46氟塑料磁力驅動泵

CQB80-65-160F 11KW襯F46氟塑料磁力驅動泵

 

CQB65-50-160F 5.5KW襯F46氟塑料磁力驅動泵

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